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Cr2O3氧化铬陶瓷涂层

更新:2020-3-25 11:34:31点击:
  • 产品品牌抗耐牌
  • 产品型号Cr2O3
产品介绍

在所有矿物和氧化物中,Cr2O3 是硬度较高的材料之一.它具有极好的化学稳定性、抗高温性能、摩擦系数小等特点,可作为微电子器件的阻挡层和磨损器件的Cr2O3氧化铬陶瓷涂层,以前研究结果表明,Cr2O3氧化铬陶瓷涂层薄膜耐磨性能好、摩擦系数低4,但硬度低于Cr2O3块体.

Cr2O3氧化铬陶瓷涂层

最近几年,  Bhushan等利用溅射法制备200 nm厚的缺氧Cr2O3薄膜,其硬度值最高为29.5 GPa. Phones等利用溅射法制备出2μm左右厚的Cr2O3薄膜,其硬度值最高达到32GPa.但是,所得薄膜多呈非晶结构,热处理后,部分Cr2O3膜晶化.

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