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电弧离子镀Cr2O3氧化铬涂层薄膜

更新:2020-4-1 8:33:46点击:
  • 产品品牌抗耐牌
  • 产品型号Cr2O3
产品介绍

采用电弧离子镀方法在不锈钢基体上沉积Cr2O3氧化铬涂层薄膜.研究了氧流量和脉冲偏压对薄膜相结构、沉积速率、表面形貌、薄膜硬度的影响.结果表明,氧流量和脉冲偏压对氧化铬涂层薄膜的相结构有较大的影响.在氧流量为130cm3/s、脉冲偏压为-100V时,出现Cr2O3{001}面择优取向;氧流量增高,脉冲偏压增大时,薄膜的表面形貌得到改善;

电弧离子镀Cr2O3氧化铬涂层薄膜

在脉冲偏压为-200V、氧流量为130cm3/s时,可获得符合Cr2O3氧化铬涂层化学计量比的薄膜,其硬度达到36GPa。


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